一、產品簡介

Huace-6 中端探針臺是北京華測試驗儀器有限公司在深耕材料電學測試領域多年經驗基礎上，精心打造的一款高性能手動探針臺系統。本產品定位于滿足科研機構與工業企業對測試精度、樣品兼容性及擴展功能的更高要求，在繼承Huace系列產品操作便捷、經濟實用等優點的同時，實現了關鍵性能指標的全面升級。

基本工作原理：測試人員將待測器件置于探針臺載物臺（Chuck）上，在顯微鏡觀測下通過X-Y方向移動樣品臺，精確定位待測區域。隨后，通過旋轉探針座上的X-Y-Z三軸調節旋鈕，控制前部探針（直流或射頻探針）精確扎觸至被測電極點，使器件信號線通過探針與外部測試機（如源表、LCR表、半導體參數分析儀等）形成導通回路，進而獲取所需的電性能參數。

Huace-6 以其更優的機械穩定性、更寬的樣品兼容性以及豐富的可升級選項，成為連接基礎測試與應用之間的理想橋梁。

二、產品特點與應用

2.1 核心特點

• 寬樣品兼容性：支持4英寸、6英寸、8英寸多種規格樣品測試，適應更廣泛的測試需求

• 高精度傳動：采用精密同軸絲杠傳動結構，確保探針移動平穩線性，定位精準可靠

• 光學系統升級：兼容高倍率金相顯微鏡，支持同軸光源照明，最高放大倍率可達4000×

• 擴展升級能力：可升級射頻測試、大電流測試及激光修復應用，滿足前沿研究需求

• 操作便捷性：人體工學設計，旋鈕操作順手，顯微鏡位置可靈活調節

• 機械穩定性：更扎實的底座設計，有效降低操作過程中的微震動

2.2 典型應用領域

• 半導體器件表征：二極管、晶體管、MOSFET、功率器件等電學性能測試

• 集成電路測試：芯片內部模塊驗證、失效分析

• 材料科學研究：二維材料、寬禁帶半導體、鐵電材料等新材料電學性能研究

• 光電測試：光電探測器、太陽能電池、LED的光電響應特性測量

• 射頻器件測試：高頻濾波器、放大器、天線的S參數測試（需選配射頻配件）

• 功率器件測試：IGBT、MOSFET等高功率器件的I-V特性測試（需選配高壓配件）

• 激光修復應用：配合激光系統實現芯片內部電路的精準修復（需選配激光配件）

三、技術參數規格

3.1 臺體系統參數

3.2 光學系統參數

3.3 定位器（探針座）參數

四、系統組成與工作原理

4.1 系統構成

Huace-6 中端探針臺主要由以下核心部件組成：

4.2 工作原理詳解

4.2.1 機械定位原理

• 粗定位（樣品臺級）：通過移動樣品臺的X-Y旋鈕，將待測區域移動至顯微鏡視場中心。樣品臺具備360°旋轉功能，便于調整樣品取向。±15°的微調功能配合0.1°刻度，可實現精確的角度對準。

• 精定位（探針座級）：通過調節探針座的X-Y-Z三軸微分頭，控制探針針尖以微米級精度移動至目標電極點。不同精度等級的探針座（10μm/2μm/0.7μm/0.5μm）可滿足從常規電極到亞微米電極的測試需求。

• 接觸控制：通過顯微鏡觀察針尖與電極的接觸形變或反射變化，判斷接觸狀態。經驗豐富的操作者可通過手感判斷接觸程度。

4.2.2 電學測試原理

• 信號路徑：被測器件 → 探針針尖 → 探針臂 → 同軸/三軸線纜 → 接頭 → 外部測試儀器

• 背電極連接：對于垂直結構器件，通過樣品臺的4mm插孔引出背部電極信號，實現兩端子或三端子器件的完整測試。

• 漏電控制：高精度探針座（100fA/10fA級）采用三同軸設計，配合低噪聲線纜和良好的接地屏蔽，實現微弱電流的精確測量。

• 高頻測試原理（選配）：射頻探針配合特征阻抗匹配的線纜（通常為50Ω），連接至網絡分析儀，實現S參數、增益、駐波比等高頻特性測試。

4.2.3 光學觀察原理

• 明場觀察：光線垂直或環形照射樣品表面，反射光進入物鏡形成圖像，適用于大多數常規樣品。

• 同軸照明：光線通過分光棱鏡沿物鏡光軸垂直照射樣品，適用于高倍率金相觀察，可清晰顯示樣品表面細節。

• 圖像采集：通過CCD相機將光學圖像轉換為數字信號，在顯示器上實時顯示，便于多人同時觀察和記錄。

五、操作指南

5.1 準備工作

5.2 標準操作流程

5.3 高級操作技巧

• 階梯對針法：對于極小電極（<10μm），可采用“先低倍定位，再高倍精調”的分步策略，先用低倍鏡將探針移至電極附近，再切換高倍鏡進行最終對準。

• 角度觀察技巧：適當傾斜顯微鏡觀察角度，利用針尖在樣品表面的投影判斷垂直距離，避免下針過猛損傷樣品。

• 接觸電阻判斷：通過測試儀器實時監測接觸電阻，判斷探針與電極的接觸質量。接觸電阻突增通常表示接觸不良或針尖污染。

• 多點測試編程：對于重復性測試，可記錄樣品臺坐標和探針座位置，實現半自動化的多點測試。

六、維護保養規程

6.1 日常維護

6.2 定期維護

6.3 常見故障排除

七、可選附件與升級方案

Huace-6 中端探針臺提供豐富的可選附件和升級方案，滿足用戶不斷發展的測試需求：

八、配置選型指南

為幫助用戶選擇的配置，我們提供以下選型建議：

8.1 根據樣品尺寸選擇

8.2 根據測試精度選擇

8.3 根據測試類型選擇

九、訂購信息

訂購說明：

• 標準交貨期：收到訂單后20個工作日內

• 包裝運輸：專用木箱包裝，物流送貨上門

• 付款方式：電匯，預付50%，發貨前付清尾款

• 質保期：整機12個月（易耗品除外）

十、售后服務

北京華測試驗儀器有限公司秉承經營理念，為客戶提供售后支持：

十一、公司簡介與主營產品

北京華測試驗儀器有限公司是一家專注于材料電學測試技術的高新技術企業，集研發、生產、銷售、服務于一體。公司依托中關村科技園區的創新資源，匯聚了一批在材料測試領域具有豐富經驗的專業技術人才，致力于為科研院所、高校及工業企業提供高性能、高可靠性的測試解決方案。

公司主營產品系列：