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簡要描述：Huace-4S小型探針臺以其結(jié)構(gòu)緊湊、操作便捷、經(jīng)濟實用的特點，廣泛應(yīng)用于科研實驗、高校教學(xué)及小批量生產(chǎn)測試等領(lǐng)域。
產(chǎn)品型號：Huace-4S廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2026-02-26訪 問 量：40產(chǎn)品分類
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
|---|
Huace-4S 小型探針臺是北京華測試驗儀器有限公司專為材料電學(xué)表征與器件測試研發(fā)的一款高性價比、輕量化手動探針臺系統(tǒng)。該設(shè)備作為一種精密輔助執(zhí)行機構(gòu)，主要用于協(xié)助測試人員實現(xiàn)對微小器件或材料樣品的精確電學(xué)連接，從而完成各類電性能參數(shù)的測量。
基本工作原理：測試人員將待測器件置于探針臺載物臺（Chuck）上，在顯微鏡觀測下通過X-Y方向移動樣品臺，精確定位待測區(qū)域。隨后，通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z三軸調(diào)節(jié)旋鈕，控制前部探針（直流或射頻探針）精確扎觸至被測電極點，使器件信號線通過探針與外部測試機（如源表、LCR表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀等）形成導(dǎo)通回路，進而獲取所需的電性能參數(shù)。
本產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)緊湊、操作便捷、經(jīng)濟實用的特點，廣泛應(yīng)用于科研實驗、高校教學(xué)及小批量生產(chǎn)測試等領(lǐng)域。
多場景測試兼容：滿足I-V/C-V特性測試、PIV測試、光電響應(yīng)測試等多種應(yīng)用需求；
大尺寸樣品支持：可用于6英寸及以下規(guī)格樣品的測試；
高精度傳動：采用同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，確保探針移動平穩(wěn)線性；
環(huán)境適應(yīng)性：結(jié)構(gòu)輕巧，可放置于手套箱內(nèi)使用，滿足特殊氣氛環(huán)境測試需求；
操作便捷性：人體工學(xué)設(shè)計，旋鈕操作順手，學(xué)習(xí)成本低；
經(jīng)濟實用：在保證基礎(chǔ)性能的前提下，提供競爭力的價格。
半導(dǎo)體器件測試：二極管、晶體管、MOSFET等基礎(chǔ)器件電學(xué)表征
材料科學(xué)研究：二維材料、鈣鈦礦、有機半導(dǎo)體等新材料電性能研究
光電測試：光電探測器、太陽能電池的光電響應(yīng)特性測量
失效分析：電子元器件故障定位與原因分析
教學(xué)實驗：高校微電子、物理、材料專業(yè)實驗教學(xué)
| 參數(shù)項目 | 技術(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)品型號 | Huace-4S |
| 適用樣品尺寸 | 4英寸 / 6英寸 |
| 樣品臺水平旋轉(zhuǎn) | 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)，帶角度鎖死裝置 微調(diào)范圍 ±15°，調(diào)節(jié)精度 0.1° |
| X-Y移動行程 | 4英寸 × 4英寸（約100mm × 100mm） |
| X-Y移動精度 | 10μm |
| 樣品臺Z軸調(diào)節(jié) | 升降范圍 10mm |
| 樣品固定方式 | 真空吸附（中心吸附孔 + 多圈吸附環(huán)） |
| 針座平臺 | U型設(shè)計，可同時放置最多6個探針座 |
| 背電極測試 | 樣品臺電學(xué)獨立懸空 配備4mm插孔用于背電極信號引出 |
| 外形尺寸（L×W×H） | 400mm × 400mm × 500mm |
| 設(shè)備重量 | 約 20kg |
| 參數(shù)項目 | 技術(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡 / 體式顯微鏡（可選配） |
| 放大倍率 | 16× - 200×（連續(xù)變倍） |
| 顯微鏡移動行程 | 水平方向：繞立柱360°旋轉(zhuǎn) 垂直方向：Z軸升降50.8mm |
| 光源 | 外置LED環(huán)形光源，無極亮度調(diào)節(jié) |
| CCD相機（選配） | 200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素可選 |
| 參數(shù)項目 | 技術(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| X-Y-Z移動行程 | 12mm × 12mm × 12mm |
| 移動精度（可選） | 10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm |
| 吸附方式 | 磁力吸附 / 真空吸附 |
| 漏電精度（可選） | 10pA / 100fA / 10fA |
| 探針固定方式 | 彈簧固定 / 管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC / 三同軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子 |
| 線纜類型 | 同軸線 / 三軸線 |
| 針尖直徑（可選） | 0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm |
| 針尖材質(zhì) | 鎢鋼 / 鈹銅 |
Huace-4S 小型探針臺主要由以下核心部件組成：
底座與支撐結(jié)構(gòu)：提供整體穩(wěn)定性，承載所有部件
樣品臺（Chuck）：用于放置和固定被測樣品，具備X-Y-Z三向調(diào)節(jié)及旋轉(zhuǎn)功能
探針座平臺：U型布局，用于安裝多個探針座
探針座（定位器）：獨立的三軸微動平臺，用于精確控制探針位置
顯微鏡系統(tǒng)：用于觀察樣品表面和探針位置
照明系統(tǒng)：提供充足、均勻的樣品照明
真空吸附系統(tǒng)：通過真空負(fù)壓固定樣品
屏蔽與接地：降低外界電磁干擾
4.2.1 機械定位原理
粗定位：通過移動樣品臺的X-Y旋鈕，將待測區(qū)域移動至顯微鏡視場中心
精定位：通過調(diào)節(jié)探針座的X-Y-Z三軸微分頭，控制探針針尖以微米級精度移動至目標(biāo)電極點
接觸控制：通過顯微鏡觀察針尖與電極的接觸形變，判斷接觸狀態(tài)
4.2.2 電學(xué)測試原理
信號路徑：被測器件 → 探針針尖 → 探針臂 → 同軸/三軸線纜 → 接頭 → 外部測試儀器
背電極連接：通過樣品臺的4mm插孔引出背部電極信號，實現(xiàn)垂直結(jié)構(gòu)器件的測試
漏電控制：高精度探針座采用三同軸設(shè)計，配合低噪聲線纜，實現(xiàn)fA級微弱電流測量
4.2.3 光學(xué)觀察原理
顯微鏡將樣品表面放大16-200倍，通過目鏡觀察或CCD相機采集圖像
環(huán)形光源提供無影照明，避免陰影干擾探針操作
環(huán)境檢查：將探針臺置于平穩(wěn)的工作臺面，確保無強震動、無強電磁干擾
樣品準(zhǔn)備：清潔樣品表面，確保電極區(qū)域潔凈
探針選擇：根據(jù)測試需求選擇合適針尖直徑和材質(zhì)的探針
儀器連接：將探針通過線纜連接至外部測試儀器（源表、LCR表等）
| 步驟 | 操作內(nèi)容 | 注意事項 |
|---|---|---|
| Step 1 | 開啟真空泵，將樣品放置于樣品臺中心位置，通過真空吸附固定 | 確認(rèn)樣品平整，吸附牢固 |
| Step 2 | 調(diào)節(jié)顯微鏡位置和焦距，直至清晰觀察到樣品表面 | 先粗調(diào)再微調(diào)，避免碰撞樣品 |
| Step 3 | 移動樣品臺X-Y，將待測電極區(qū)域移至視場中心 | 記錄初始位置便于重復(fù)定位 |
| Step 4 | 安裝探針座至U型平臺，調(diào)整探針座大致位置 | 確保探針位于樣品上方安全距離 |
| Step 5 | 緩慢調(diào)節(jié)探針座Z軸，使探針針尖下降至接近樣品表面 | 在焦點平面觀察針尖與樣品距離 |
| Step 6 | 調(diào)節(jié)探針座X-Y，使針尖對準(zhǔn)目標(biāo)電極中心 | 利用顯微鏡十字準(zhǔn)星輔助對準(zhǔn) |
| Step 7 | 微調(diào)Z軸使探針輕輕接觸電極表面，觀察到針尖輕微彎曲或電極表面反射變化 | 避免過度下壓損傷針尖或樣品 |
| Step 8 | 重復(fù)Step 5-7，完成其他探針的扎針操作 | 注意多根探針的操作順序 |
| Step 9 | 啟動外部測試儀器，執(zhí)行預(yù)設(shè)測試項目 | 記錄測試數(shù)據(jù) |
| Step 10 | 測試完成后，先抬起所有探針，再取出樣品 | 順序不可顛倒 |
先低倍后高倍：低倍鏡下快速定位，高倍鏡下精確對針
角度觀察：適當(dāng)傾斜顯微鏡觀察角度，便于判斷針尖與樣品的垂直距離
輕觸即止：探針接觸電極時以剛產(chǎn)生電氣接觸為宜，避免過度扎入損傷電極
| 維護項目 | 頻率 | 操作方法 | 注意事項 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺清潔 | 每次使用后 | 無塵布蘸取無水乙醇輕輕擦拭 | 避免劃傷臺面，防止液體滲入運動機構(gòu) |
| 探針檢查 | 每次使用前后 | 顯微鏡下觀察針尖狀態(tài)，清除附著物 | 發(fā)現(xiàn)針尖彎曲、氧化或磨損應(yīng)及時處理 |
| 運動部件檢查 | 每周 | 檢查各調(diào)節(jié)旋鈕是否順暢，有無異響 | 發(fā)現(xiàn)卡滯或松動及時調(diào)整 |
| 真空吸附檢查 | 每日 | 測試吸附孔是否通暢，吸附力是否達標(biāo) | 堵塞時用細(xì)針輕輕疏通 |
| 維護項目 | 頻率 | 操作方法 | 標(biāo)準(zhǔn)要求 |
|---|---|---|---|
| 探針更換/研磨 | 按需/每月 | 更換新探針或使用研磨片修復(fù)針尖 | 針尖直徑符合測試要求，表面光潔 |
| 導(dǎo)軌潤滑 | 每季度 | 涂抹適量專用潤滑脂于移動導(dǎo)軌 | 使用不含酸性成分的潤滑脂 |
| 光學(xué)系統(tǒng)清潔 | 每月 | 用專業(yè)鏡頭紙清潔物鏡和目鏡 | 避免使用有機溶劑擦拭鏡頭 |
| 電氣連接檢查 | 每季度 | 檢查線纜、接頭有無松動、破損 | 接觸不良時重新插拔或更換線纜 |
| 接地電阻測試 | 每半年 | 測量設(shè)備接地電阻 | 接地電阻 < 1Ω |
| 整機校準(zhǔn) | 每年 | 使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片校驗定位精度 | 定位偏差超過20μm需調(diào)整 |
| 故障現(xiàn)象 | 可能原因 | 排查方法 | 解決方案 |
|---|---|---|---|
| 顯微鏡視野模糊 | 物鏡污染/焦距失調(diào) | 檢查物鏡表面清潔度 | 清潔物鏡，重新調(diào)焦 |
| 探針無法接觸電極 | Z軸行程不足/針尖過短 | 檢查探針安裝位置 | 調(diào)整探針座Z軸初始高度，更換探針 |
| 真空吸附力不足 | 吸附孔堵塞/管路漏氣 | 檢查吸附孔和氣管連接 | 疏通吸附孔，檢查密封圈 |
| 測試信號不穩(wěn)定 | 探針接觸不良/屏蔽接地不良 | 檢查針尖與電極接觸狀態(tài) | 重新扎針，檢查接地線 |
| X-Y移動卡滯 | 導(dǎo)軌污染/潤滑不足 | 檢查導(dǎo)軌清潔度 | 清潔導(dǎo)軌，添加潤滑脂 |
| 圖像有暗影 | 光源位置不當(dāng)/亮度不足 | 調(diào)整環(huán)形光源角度 | 調(diào)節(jié)光源亮度和角度 |
為滿足不同用戶的多樣化測試需求，Huace-4S 探針臺提供豐富的可選附件：
| 附件類別 | 可選型號/規(guī)格 | 功能說明 |
|---|---|---|
| 加熱臺 | 室溫 - 300°C | 實現(xiàn)變溫條件下的電學(xué)測試 |
| 顯示器 | 19英寸/22英寸高清監(jiān)視器 | 配合CCD相機實現(xiàn)大屏幕觀察 |
| 轉(zhuǎn)接頭 | BNC轉(zhuǎn)香蕉頭、SMA轉(zhuǎn)BNC等 | 適配不同接口的測試儀器 |
| 射頻測試配件 | 射頻探針、SMA線纜、校準(zhǔn)件 | 支持高頻器件測試（可達40GHz） |
| 屏蔽箱 | 全封閉電磁屏蔽箱 | 降低外界電磁干擾，提高測試精度 |
| 光學(xué)平臺 | 被動/主動減震光學(xué)平臺 | 消除外界震動干擾 |
| 鍍金卡盤 | 4英寸/6英寸鍍金卡盤 | 提高導(dǎo)電性和抗氧化能力 |
| 光電測試配件 | 光纖接口、激光器支架 | 支持光電探測器、太陽能電池測試 |
| 探針座擴展 | 高精度探針座（0.5μm） | 提高對針精度，滿足更小電極測試需求 |
| 產(chǎn)品配置 | 產(chǎn)品編號 | 描述 |
|---|---|---|
| 基礎(chǔ)配置 | Huace-4S-Basic | 4英寸樣品臺，U型平臺，不含顯微鏡和探針座 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | Huace-4S-Standard | 4英寸樣品臺，單筒顯微鏡，4個探針座（10μm精度） |
| 高配配置 | Huace-4S-Advanced | 6英寸樣品臺，體式顯微鏡，4個探針座（2μm精度），CCD相機 |
| 定制配置 | Huace-4S-Custom | 根據(jù)客戶具體需求定制 |
訂購說明：
標(biāo)準(zhǔn)交貨期：收到訂單后15個工作日內(nèi)
包裝運輸：專用木箱包裝，物流送貨上門
付款方式：電匯，預(yù)付50%，發(fā)貨前付清尾款
北京華測試驗儀器有限公司秉承“服務(wù)至上”的原則，為客戶提供全面的售后保障：
| 服務(wù)項目 | 服務(wù)內(nèi)容 |
|---|---|
| 安裝培訓(xùn) | 提供遠(yuǎn)程指導(dǎo)或上門安裝調(diào)試服務(wù)，培訓(xùn)至操作人員熟練掌握 |
| 質(zhì)保期限 | 整機12個月免費保修（探針等易耗品除外） |
| 響應(yīng)時間 | 24小時技術(shù)熱線支持，48小時內(nèi)給出解決方案 |
| 軟件支持 | 提供技術(shù)咨詢 |
| 備件供應(yīng) | 長期供應(yīng)原廠備件，保證5年以上供應(yīng)周期 |
| 校準(zhǔn)服務(wù) | 提供定期有償校準(zhǔn)服務(wù)，確保設(shè)備精度 |
北京華測試驗儀器有限公司專注于材料電學(xué)測試領(lǐng)域，主要產(chǎn)品包括：
| 產(chǎn)品系列 | 主要應(yīng)用 |
|---|---|
| 功能材料電學(xué)綜合測試系統(tǒng) | 介電、壓電、鐵電材料綜合表征 |
| 絕緣診斷測試系統(tǒng) | 電力設(shè)備絕緣狀態(tài)評估 |
| 高低溫介電溫譜測試儀 | 變溫介電性能測試 |
| 極化裝置與電源 | 壓電材料極化處理 |
| 高壓放大器 | 高電壓信號放大驅(qū)動 |
| PVDV薄膜極化 | 聚合物薄膜極化處理 |
| 高低溫冷熱臺 | 顯微觀察下的變溫控制 |
| 鐵電壓電熱釋電測試儀 | 鐵電、壓電、熱釋電性能測試 |
| 絕緣材料電學(xué)性能綜合測試平臺 | 絕緣電阻、介電強度、介電常數(shù)測試 |
| 電擊穿強度試驗儀 | 材料耐電壓擊穿性能測試 |
| 耐電弧試驗儀 | 材料耐電弧性能測試 |
| 高壓漏電起痕測試儀 | 絕緣材料表面漏電性能測試 |
| 沖擊電壓試驗儀 | 雷電沖擊、操作沖擊測試 |
| 儲能材料電學(xué)測控系統(tǒng) | 超級電容器、電池材料測試 |
| 壓電傳感器測控系統(tǒng) | 壓電傳感器性能標(biāo)定與測試 |
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