模塊化高密度弱電流測試方案｜華測儀器 HC-PAX 多通道電流矩陣模塊

隨著半導體器件、微型傳感器研發與量產并行測試需求提升，傳統單通道微弱電流測試設備通道數量有限、擴容困難、測試效率低，難以滿足批量樣品同步表征需求。華測儀器 HC-PAX 多通道電流矩陣模塊，面向多路微弱直流測試場景，提供一套靈活、高準度、可規模化擴展的高密度電流控制方案。

HC-PAX 采用模塊化架構，以 8 通道作為基礎單元，各通道支持單獨控制，可按需配置測試時序。通道卡支持熱插拔，無需停機即可增減通道；單機箱可達 128 通道，多機箱級聯拓展后支持 1024 通道，科研小試樣測試、晶圓批量器件篩查、傳感器產線老化測試等不同規模試驗都可靈活適配，可降低前期硬件投入，優化設備復用性。

為攻克 pA 級弱電流測量難點，模塊采用低熱電動勢電路設計，減少溫度變化帶來的熱電電壓干擾，降低基線漂移；同時優化信號通路，打造低漏電流傳輸路徑，減少通道間串擾，保障微弱信號采集穩定可靠。模塊電流測量區間覆蓋 ±1pA~±100mA，寬量程兼顧皮安級漏電檢測與毫安級常規電流測試，一套設備覆蓋多種測試工況。

該模塊可配套靜電計、數字源表搭建自動化測試系統，普遍應用于半導體器件、傳感器電學特性測試、高阻材料漏電表征等領域。在優化批量測試效率的同時，保證微弱電流數據重復性與準確度，為材料研發、器件可靠性驗證、產線質檢提供穩定可靠的多路電流測試支撐。